大尺寸检测计量系统最大限度地提高大样本的灵活性

Zygo集团。宣布推出Nexview 650，这是一种大尺寸计量系统，设计用于自动测量注塑模具、pcb、玻璃面板和其他需要扩展工作容量达650 x 650 mm的样品的检测工具。bet188娱乐城该系统提供多种表面特征的2D和3D测量，具有亚纳米垂直精度和亚微米横向精度。

Nexview 650是Zygo公司Nexview 3D光学轮廓仪系列的最新产品，其特点是能够提供精确、定量、符合iso标准的非接触式表面测量。这款面向生产的工具将Zygo公司的Nexview NX2 3D显微镜头与强大的生产平台结合在一起，可提供微观和纳米尺度的表面特征，并在几秒钟内捕获数百万数据点。

Nexview 650的核心是Zygo的相干扫描干涉测量技术(CSI)，该技术使用专门的光学显微镜物镜，不仅可以提供表面的成像和放大，还可以测量其3D地形。CSI分析是完全非接触的，这就消除了样品被损坏的任何可能性。此外，与其他基于显微镜的3D地形技术相比，Zygo说CSI有一个独特的优势:测量的高度分辨率在所有放大倍数下都是一致的，无论视场是20 μm, 20 mm或更大。CSI提供高精度，高价值的表面测量优势，包括所有类型的表面测量，亚纳米测量，仪表性能和SureScan抗振动技术。

该系统的大工作量可同时容纳大型和重型部件。集成操作站和分轴运动设计，使其占地面积最小化。集成的被动隔离使安装能够靠近制造过程，从而缩短获取数据的时间。

此外，Zygo表示，Nexview 650的设计和制造确保了未来几年的投资回报。据报道，Nexview 650的测量区域可容纳横向尺寸高达650 x 650 mm，样品负载为>100 kg，垂直范围为150 mm，可选择全封闭或部分封闭系统，可为需要精密3D光学轮廓的大型样品提供最大的灵活性。该系统可以适应任何标准PCB基板尺寸，为柔性板和大型高质量注塑板定制样品夹，受益于精确的非接触式检测，以最大限度地减少潜在的表面损伤。bet188娱乐城

定制卡盘和样品夹可由客户设计或提供，以适应Nexview较小的面板或单一基材，最大限度地提高应用灵活性。此外，Nexview 650集成的配方驱动自动化软件可以在一个工作站上对每个面板上的多个功能进行免提计量，减少了生产时间，增加了工艺知识。